Στην ενανθράκωση κενού ο κλίβανος εκκενώνεται αρχικά σε πίεση 0,01 με 0,1 kPa μέχρι την θερμοκρασία ενανθράκωσης 900°C με 1090°C. Η ενανθράκωση γίνεται με μεθάνιο ή προπάνιο σε πίεση μεταξύ 7 και 55 kPa. Μια τεχνική είναι να πάλλουμε το αέριο στον θάλαμο και να διατηρούμε την πίεση μεταξύ 3 και 4 kPa. Τα πλεονεκτήματα είναι καθαρά τεμάχια, ελαχιστοποίηση των ενδοθερμικών αντιδράσεων, χαμηλότερη κατανάλωση αερίου και ομοιόμορφη βαθμιαία κατανομή του άνθρακα από την επιφάνεια προς το εσωτερικό με ακριβή προσδιορισμό του βάθους ενανθράκωσης μέσω της ακριβούς επιλογής των παραμέτρων της διαδικασίας. Το μειονέκτημα είναι το υψηλό κόστος του εξοπλισμού.
Στην ενανθράκωση πλάσματος εφαρμόζεται τάση συνεχούς ρεύματος αρκετών kV πάνω σε αέριο ενανθράκωσης σε χαμηλή πίεση. Το αποτέλεσμα είναι η δημιουργία αερίου πλάσματος, διάσπαση του αερίου και εναπόθεση των ατόμων του στην κάθοδο (τεμάχια) σε θερμοκρασία 850°C με 1040°C.
Τα πλεονεκτήματα είναι μικρότεροι χρόνοι παραγωγής, χαμηλότερη κατανάλωση αερίου και ενέργειας, καθαρά τεμάχια με καλύτερες επιφανειακές ιδιότητες, σκληρότητας, αντοχής, αντίστασης σε φθορά και λιγότερη παραμόρφωση.
