Εναζώτωση και εναζώτωση με ιόντα
Η εναζώτωση πραγματοποιείται σε ηλεκτρικούς κλιβάνους ταυτόχρονα με την χρήση συσκευών για ακριβή έλέγχο της διαδικασίας. Επειδή είναι χρονοβόρα διαδικασία, εκτελείται σε παρτίδες μέσα σε αεροστεγείς κλιβάνους όπου εισάγεται NH3. Οταν πραγματοποιείται σε ένα στάδιο παραγωγής, η θερμοκρασία κυμαίνεται περίπου μεταξύ 500°C και 525°C με βαθμό διάσπασης του αερίου15 με 30%. Οταν γίνεται σε δυο στάδια παραγωγής, το πρώτο στάδιο είναι παρόμοιο αλλά στο δεύτερο η θερμοκρασία είναι 565°C με βαθμό διάσπασης 65 με 80%.
Η εναζώτωση υπό πίεση πραγματοποιείται σε υψηλές πιέσεις και παράγει επιφάνειες με υψηλή σκληρότητα ταυτόχρονα με γρήγορο σχηματισμό της επικάλυψης κατά την διάρκεια των πρώτων ωρών.
Η εναζώτωση με ιόντα ή πλάσμα πραγματοποιείται σε κλίβανο που περιλαμβάνει θάλαμο κενού, τα τεμάχια προς επεξεργασία, την παροχή αερίου, μία παροχή ισχύος συνεχούς ρεύματος υψηλής συχνότητας παλμών πλάσματος και αυτόματο έλεγχο των παραμέτρων της όλης διαδικασίας. Μια βελτιωμένη σχεδίαση περιλαμβάνει θέρμανση και ψύξη δια μεταφοράς, μέσω αερίου αζώτου σε πίεση 65 kPa. Η θέρμανση γίνεται με αντιστάσεις και η ψύξη με κινητό εναλλάκτη θερμότητας που εισέρχεται στον θάλαμο μόνο κατά την διάρκεια της ψύξης.
Κλίβανος εναζώτωσης με χρήση πλάσματος και βελτιωμένη σχεδίαση: θέρμανση - ψύξη