Κλίβανοι κενού

Η χρήση κλιβάνων κενού αυξάνεται συνεχώς αφού με την χρήση τους αποφεύγονται οι επιφανειακές αντιδράσεις και απομακρύνονται οι επιφανειακές προσμίξεις. Διαχωρίζονται σε συνεχούς ή διακοπτόμενης λειτουργίας, απλούς (χωρίς ψύξη των τοιχωμάτων) ή με υδρόψυκτα τοιχώματα που χρησιμοποιούνται συχνότερα.

Η θέρμανση γίνεται συνήθως μέσω ακτινοβολίας χρησιμοποιώντας αντιστάσεις και επιτυγχάνονται υψηλότερες θερμοκρασίες από ότι στις οξειδωτικές ατμόσφαιρες των συμβατικών κλιβάνων.

Η ψύξη γίνεται με αέριο σε πιέσεις μεταξύ 100 και 500 kPa. Τα αέρια που χρησιμοποιούνται είναι Αργό, Άζωτο, Ήλιο και Υδρογόνο. Οι τελευταίες εξελίξεις περιλαμβάνουν χωριστούς θαλάμους για θέρμανση και ψύξη και ψύξη αερίου σε πιέσεις μέχρι και 2 MPa, σε συνδυασμό με θέρμανση δια μεταφοράς μέσω κυκλοφορίας αερίου.

Σύστημα θερμικής κατεργασίας κενού. Συνδυάζει ψύξη με αέριο υψηλής πίεσης (επάνω)

και θέρμανση με μεταφορά θερμότητας (κάτω)